KAMAN-KD5100納米級(jí)差動(dòng)電渦流傳感器 每通道兩個(gè)精確匹配的傳感器使分辨率達(dá)到1nm;超耐熱,長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定:1.27x10-4mm/月或更好;有耐低溫傳感器;非常高的靈敏度,最高到394 mV/μm;低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情況下);
應(yīng)用領(lǐng)域:
差動(dòng)測(cè)量:
兩個(gè)精確匹配的傳感器被放置在被測(cè)物平臺(tái)兩側(cè),這兩個(gè)傳感器組成了平衡橋電路相反的兩端,這個(gè)結(jié)構(gòu)提供了極好的線性和熱穩(wěn)定性,所以其輸出準(zhǔn)確地記錄了線性的最微小移動(dòng)。如激光反射鏡聚焦平臺(tái)定位。
低溫應(yīng)用:
20N傳感器有一個(gè)專門(mén)的低溫應(yīng)用版本,它有一個(gè)內(nèi)部伸縮接頭,當(dāng)用螺絲安裝一個(gè)貝勒維爾墊圈后,可有效消除壓力或溫度引起的機(jī)械變性。已證明其在70°K的液態(tài)氮中有最優(yōu)異的性能。好幾個(gè)空間項(xiàng)目在4°K的液態(tài)氦環(huán)境中使用了此傳感器。 真空應(yīng)用:
傳感器和KAMAN-KD-5100的電子器件都已用在10-6托的真空應(yīng)用中了。
超高精度宇航應(yīng)用:
已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標(biāo)準(zhǔn)的。KAMAN-KD-5100在戰(zhàn)斗環(huán)境下超過(guò)55,000小時(shí),太空飛行環(huán)境下超過(guò)238,000小時(shí)。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可應(yīng)用于空間狹小的場(chǎng)合。
商業(yè)差動(dòng):
KAMAN-KDM-8200微分系統(tǒng)就是KD-5100的一個(gè)商業(yè)版本。此系統(tǒng)大大減小了微分系統(tǒng)的成本,又保持了性能優(yōu)勢(shì)。在重量、大小和能耗沒(méi)有特殊限定的情況下,這些差動(dòng)系統(tǒng)是首選。
中繼鏡片激光定位(RME):
RME演示了一束從地球發(fā)射到450公里軌道上人造衛(wèi)星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標(biāo)地面。
KAMAN-KD5100被用于精確定位60cm的中繼鏡片,其精度高于試驗(yàn)?zāi)繕?biāo)的16倍,視線穩(wěn)定度高2.3倍。
半導(dǎo)體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦:
激光微注技術(shù)被用于開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體圓晶片制造中的“直接寫(xiě)入”應(yīng)用和高吞吐量模板圖案應(yīng)用,而且還被融合進(jìn)0.1微米工藝的產(chǎn)品中。KD5100就被應(yīng)用到此技術(shù)中,精確控制激光的位置,完成超高精確位置、關(guān)鍵尺寸和對(duì)齊控制。
技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍:15N:±0.889,20N:±1.905;
線性度:±0.1%~±0.5%;
輸出:最大±10V;
熱靈敏度:<5mV/℉;
頻響:22KHz±5%;
輸入電壓:±15V @55mA;
工作溫度:前置器:-20~+60℃,傳感器:-52~+105℃,低溫20N傳感器:+4°K~+220℉(+105℃);
重量:前置器:70g,15N-001傳感器:17.3g,20N傳感器:16.8g;