美國SMI
SM5651/SM5652
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0.3%
15倍壓力
數(shù)字
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SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器,完全校準和溫度補償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。
SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩(wěn)定壓阻式壓力傳感器芯片,利用陶瓷基板上的薄膜電阻進行零度校正、零點溫度補償和靈敏度溫度補償。SM5651只能用恒流驅(qū)動,一個額外的電阻修剪正?;耐獠坎罘?a href="/pro/index486.html" title="放大器" target="_blank">放大器的輸出提供了跨度校準。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號很容易進行放大。
SM5651芯片有額外的增益電阻,采用恒流激勵,SM5652采用恒壓激勵。
特點 應用
l
微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi l
恒流或恒壓激勵 l
溫度補償范圍寬(0 l
跨度校準正高達±2% l
零點校準及溫度補償 l
高性能、穩(wěn)定的硅芯片封裝 l
表壓和差壓配置 |
l 醫(yī)療設備 l 呼吸機、麻醉機和監(jiān)護儀 l HVAC(空調(diào)) l 水平監(jiān)測 l 流量測量 l 工業(yè)控制 l 微差壓變送器 |
性能參數(shù)
測試的條件是:SM5651激勵電流源為1.5mA,室溫為
|
最小值 |
典型值 |
最大值 |
單位 |
激勵源 |
|
|||
激勵電壓源 DC(SM5652) |
>0 |
10.00 |
20.00 |
V |
激勵電流源 DC(SM5651) |
>0 |
1.50 |
3.00 |
mA |
滿量程輸出 |
|
|||
SM5651滿量程輸出 |
25.0 |
45.0 |
75.0 |
mV |
SM5652滿量程輸出 |
24.5 |
25.0 |
25.5 |
mV |
零點輸出 |
-2.00 |
+0.20 |
2.00 |
mV |
溫度系數(shù) |
|
|||
滿量程溫度系數(shù) |
-0.65 |
+0.20 |
0.65 |
%FS |
零點溫度系數(shù) |
-1.00 |
+0.20 |
1.00 |
%FS |
溫度遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
0.30 |
%FS |
準確度 |
|
|||
線性度(非線性誤差) |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
重復性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
壓力遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
靈敏度匹配性 |
-2.0 |
-0.2 |
+2.0 |
%FS |
阻抗(SM5651) |
|
|||
輸入阻抗 |
1.80 |
3.00 |
3.80 |
kΩ |
輸出阻抗 |
2.70 |
3.30 |
3.80 |
kΩ |
阻抗(SM5652) |
|
|
|
|
輸入阻抗 |
4.50 |
8.00 |
25.00 |
kΩ |
輸出阻抗 |
2.00 |
2.50 |
3.80 |
kΩ |
溫度范圍 |
|
|||
補償溫度 |
+0 |
|
+60 |
℃ |
工作溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
存儲溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
動力特性 |
|
|
|
|
耐壓 |
10ⅹ |
|
|
Rated FS |
爆破壓力 |
15ⅹ |
|
|
Rated FS |
備注:
1、正壓指的是從晶圓底部進入;增益,在工廠校準使用的是負壓
2、對于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25(最大)
3、測量溫度超過22~
對于量程為0.15psi,滿量程溫度系數(shù)為±2%FS;零點溫度系數(shù)為±2%FS;對于量程為0.3psi,滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS
4、對于量程為0.3psi,遲滯性為±0.45%FS;對于量程為0.15psi,遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合,是從晶圓頂部測量的
對于量程為0.3psi,線性度為±0.5%FS;對于量程為0.15psi,線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度,對于量程為0.15psi,靈敏度匹配性為5.0%FS
電話:0755-86372101
聯(lián)系人:顧新 (先生)
QQ:
郵箱:guxin@mems-sensor.com.cn
地址:深圳市南山區(qū)創(chuàng)業(yè)路中興工業(yè)城5棟521室
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