具體參數(shù):
精確度為±5um,±3um
工作電壓為5v±5%,100ma.
gx尺為增量式每隔50mm有一個(gè)零參考點(diǎn),分辨率為1um,
輸出信號(hào)為差動(dòng)ttl方波信號(hào),信號(hào)周期4um