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[摘要] 一種與驅(qū)動器和相對位置誤差傳感電路集成的小型傳動裝置形成在單個硅基片上。該集成小型傳動裝置／電子模塊設(shè)置在懸浮和浮動塊／傳感器組件之間，以在磁盤驅(qū)動器的盤的數(shù)據(jù)磁跡上提供浮動塊／傳感器的快速、小的運動位置控制。小型傳動裝置電子設(shè)備與小型傳動裝置的集成用磁傳感信號減小了寄生負載和干擾問題。電子電路建立在硅片上，隨后淀積一個平面層和一個接地層，用于與建立在電路的頂部的小型傳動裝置隔離。
013 制造運動傳感器的方法
[摘要] 本發(fā)明涉及一種制造運動傳感器、尤其是用于汽車車輪轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)速傳感器的方法。在此情況下，具有集成電路(IC；11)和連接電纜(28)的電組件(10)通過用塑料注塑被封裝，其中，在第一注塑過程中組件(10)由固定插件(42)支撐在注塑機(30)中和在背離固定插件(42)的區(qū)域中至少部分地用塑料環(huán)繞注塑。然后取下固定插件(42)并且由用于最終環(huán)繞注塑(58)的第二型芯(44)替換和在此之后在第二注塑過程中注塑組件(10)和/或連接電纜(28)的剩余的封裝部分(60)，以便形成最后輪廓。
004 具有集成傳感器和驅(qū)動器的小型傳動裝置及其制造方法
[摘要] 一種與驅(qū)動器和相對位置誤差傳感電路集成的小型傳動裝置形成在單個硅基片上。該集成小型傳動裝置/電子模塊設(shè)置在懸浮和浮動塊/傳感器組件之間，以在磁盤驅(qū)動器的盤的數(shù)據(jù)磁跡上提供浮動塊/傳感器的快速、小的運動位置控制。小型傳動裝置電子設(shè)備與小型傳動裝置的集成用磁傳感信號減小了寄生負載和干擾問題。電子電路建立在硅片上，隨后淀積一個平面層和一個接地層，用于與建立在電路的頂部的小型傳動裝置隔離。
003 微機械運動傳感器的制造方法以及微機械運動傳感器
[摘要] 本發(fā)明關(guān)于用于測量物理量如加速度、角加速度或角速度的測量裝置，更精確地是關(guān)于微機械運動傳感器。本發(fā)明運動傳感器元件的晶片平面內(nèi)的面積小于被方形切割且翻轉(zhuǎn)90°的運動傳感器元件的面積。相應(yīng)地，本發(fā)明運動傳感器元件(該元件已翻轉(zhuǎn)90°)的高度在接合方向上小于由接合的晶片形成的晶片堆的厚度。本發(fā)明的目的是提供一種微機械運動傳感器改進的制造方法，尤其是用于小型微機械運動傳感器方案。
010 慣性傳感器及其制造方法
[摘要] 本發(fā)明提供一種慣性傳感器及其制造方法，系利用壓力差(壓力梯度)量測物體運動的加速度或角加速度的慣性傳感器。該慣性傳感器包括有基板，位于所述基板上的電路，及壓力裝置包括有環(huán)形腔體，具有第一端及第二端；通道，具有第一端及第二端，所述第二端連接所述環(huán)形腔體的第二端；壓力計，分別連接所述環(huán)形腔體的第一端及所述通道的第一端，且所述壓力計電氣連接所述電路；及流體，充填于所述環(huán)形腔體中。因此，本發(fā)明提供高靈敏度平面式結(jié)構(gòu)的慣性傳感器，可達到結(jié)構(gòu)簡單，工藝簡易，降低成本。本發(fā)明的慣性傳感器可量測物體移動或轉(zhuǎn)動時的加速度或角加速度，可進一步相互整合進行多軸量測。
012 用于旋轉(zhuǎn)傳感器裝置的制造方法和旋轉(zhuǎn)傳感器裝置
009 運動傳感器和制造運動傳感器的方法
007 用于高輸出傳感器信號的裝置及其制造方法
008 基于(111)硅的微機械加速度傳感器及制造方法
005 排氣傳感器的制造方法
011 具有變磁化方向的位置傳感器及其制造方法
001 微慣性傳感器及其制造方法
006 傳感器和制造傳感器的方法
以上13項技術(shù)包括在一張光盤內(nèi)
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