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陶瓷基片:主要成分:96%的AL2O3
基片在厚膜混合集成電路中除起承載厚膜元件、外貼元器件、互連線及焊盤的作用外,還起導(dǎo)熱作用。
基片按照使用材料的不同可分為:陶瓷基片、復(fù)合基片、有機材料基片。
對厚膜電路用基片的一般要求:
1、有優(yōu)良的電絕緣性;
2、基片尺寸誤差(特別是厚度)包括基片的變形和撓曲度應(yīng)符合要求;
3、基片與印刷元件和粘貼的元件之間具有牢固的粘附力;
4、在厚膜的燒結(jié)溫度范圍內(nèi),線膨脹系數(shù)??;
5、基片表面與的粗糙應(yīng)符合使用要求,并一致性良好;
6、基片具有高的導(dǎo)熱性
7、基片在燒成前,應(yīng)容易制造通孔和引出線插孔;
8、基片的化學(xué)和物理性能應(yīng)與導(dǎo)體和電阻漿料相適應(yīng),基片與厚膜之間之間應(yīng)有元素相互擴散,形成高強度的結(jié)合;
9、不同批基片的成分變化、表面粗糙度和物理性能的差異應(yīng)不影響印刷膜層的質(zhì)量。