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[摘要] 半導體加速度傳感器的一種制造方法，該方法在半導體圓片上形成壓力電阻，并用冷凍夾盤將圓片固定到切片鋸處。
032 半導體型三軸加速度傳感器
[摘要] 提供一種半導體型三軸加速度傳感器，其抗沖擊性高，X軸、Y軸和Z軸壓電電阻輸出之間的差異小，尺寸小，靈敏度高，輸出高。撓性臂由撓性加寬部分和撓性平行部分構成。撓性加寬部分具有最大應力部分。壓電電阻排列在撓性臂的上表面上以使壓電電阻的一端位于最大應力部分。Z軸壓電電阻的位置靠近撓性臂的寬度中心線，而X軸和Y軸壓電電阻遠離寬度中心線。而且，Z軸壓電電阻沿著撓性臂的長度方向從最大應力部分移動以減小X軸、Y軸和Z軸壓電電阻之間的輸出差。
023 加速度傳感器測量裝置
[摘要] 本實用新型涉及一種用于一般測量的敏感器件傳感器，尤其是一種加速度傳感器測量裝置。其提供了一種結構簡單、安裝簡便的加速度傳感器測量裝置。其包括金屬外殼1和金屬外殼1相封接的金屬支架6，在金屬支架6上設有引線管腳7，在金屬外殼1內設有底板5，在底板5上設有墊塊3，墊塊3上設有條形AL2
024 三軸集成壓阻式加速度傳感器
[摘要] 本實用新型公開了一種三軸集成壓阻式加速度傳感器，包括分別測量X、Y、Z三個方向加速度信號的硅MEMS壓阻式加速度傳感器，其中測量平面內X向和Y向加速度信號的兩個硅MEMS壓阻式加速度傳感器都是包括硅框架、質量塊、懸臂梁、壓敏電阻、支撐梁的結構，它們在平面內垂直布置；第三個壓阻式加速度傳感器位于X向和Y向壓阻式加速度傳感器的一側，用于測量Z方向的加速度信號。三個傳感器的壓敏電阻都分別設置在各自微結構的敏感梁的上表面。采用該結構可在一個芯片上采用相同的工藝同時制作出三個壓阻加速度傳感器，降低了加工難度。該傳感器具有體積小、質量輕、可靠性高、成本低和易于集成的特點。
025 半導體加速度傳感器及其制備方法
[摘要] 一種半導體加速度傳感器包括：框架2，其內具有開口21；撓性橫梁3，從框架2延伸到框架2的開口內；重物5，懸掛于橫梁3并由橫梁3支撐以使重物5可移動；壓電電阻器4，安裝在橫梁3上并響應其上產生的加速度而改變電阻值?？蚣?包括風擋部分6，每個風擋部分6覆蓋開口21的一部分，該部分包括從開口21側面上框架2的兩鄰接側面的拐角部分22到開口21內的范圍，并且每個風擋部分6用作制動器以重物5的移動。重物5具有分別面向拐角部分22的拐角部分53，每個拐角部分53的角被去掉以具有從俯視方向看的弧形或由至少三條邊構成的折線形。由此，增加每個制動器的斷裂強度，并因此獲得具有優(yōu)良抗沖擊性的半導體加速度傳感器。
022 一種量程可達20萬m/s2的微機械加速度傳感器
029 半導體加速度傳感器
007 加速度傳感器
033 加速度傳感器裝置
006 加速度傳感器
031 加速度傳感器
001 單片集成的直拉直壓微梁結構壓阻加速度傳感器及制作方法
013 集成硅微電阻式加速度傳感器及其制造加工方法
030 加速度傳感器
005 加速度傳感器
003 一種雙E型圓膜片十字梁結構的六軸加速度傳感器
010 半導體加速度傳感器
008 半導體加速度傳感器
016 加速度傳感器
035 一種硅MEMS壓阻式加速度傳感器
037 電容式加速度傳感器信號變換電路
027 采用摻雜半導體層作為布線的半導體加速度傳感器
011 半導體加速度傳感器
019 厚膜壓阻式三軸向加速度傳感器
026 加速度傳感器及其制造方法
004 MEMS壓阻式伺服加速度傳感器及其制備方法
020 集成硅微電阻式加速度傳感器
015 深溝側壁擴散和電絕緣薄膜填充制造壓阻加速度傳感器
021 加速度傳感器
002 一種高固有頻率的量程可達200萬m/s2的微機械加速度傳感器
014 具有諧振結構的傳感器，尤其是加速度或轉速傳感器及用于自檢測的裝置及方法
017 一種量程可達200萬m/s2的微機械加速度傳感器
028 加速度傳感器
034 加速度傳感器
009 半導體加速度傳感器
018 半導體加速度傳感器
036 硅基帶鎖止功能的閾值可調加速度開關傳感器及制作方法
以上37項技術包括在一張光盤內
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