詳細(xì)信息
益處
- 設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
- 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
- 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
- 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
- 卓越的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最苛刻的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
- 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
- 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
規(guī)格
類型 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar