無錫煙臺英?？礗NFICON電容隔片真空計(jì)SKY&CDG025D

批發(fā)數(shù)量 ≥1臺
梯度價(jià)格 ￥200.00
型號
CDG025D
品牌
英福康（INFICON）
加工定制
否
測量范圍
中高低真空（Pa）
外形尺寸
100（mm）
重量
0.5（kg）
產(chǎn)品適用范圍
中高低真空




概述

益處

  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 卓越的長期信號穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 電源范圍廣

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 常規(guī)高精度壓力測量

    規(guī)格

    類型
    1000 Torr / 1100 mbar500 ... 10 Torr / mbar1 Torr / mbar0.25 Torr0.1 Torr / mbar
    精度 (1)% of reading0.20.20.20.250.5
    溫度效應(yīng)
    零點(diǎn)percent FS/°C0.0050.0050.0150.020.02
    滿量程% of reading / °C0.010.010.010.030.03
    分辨率percent FS0.0030.0030.0030.0030.003
    壓力，最大kPa (absolute)400260260130130
    反應(yīng)時間 (2)ms303030130130
    最低讀數(shù)percent FS0.010.010.010.010.01
    建議的最低讀數(shù)percent FS0.050.050.050.050.05
    建議的最低控制壓力percent FS0.50.50.50.50.5
    溫度
    運(yùn)行（環(huán)境）°C+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50
    在法蘭處烘烤 (3)°C≤110≤110≤110≤110≤110
    貯存°C–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65
    電源電壓V (dc)+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30
    功耗W≤1≤1≤1≤1≤1
    輸出信號（模擬）V (dc)0 … +100 … +100 … +100 … +100 … +10
    保護(hù)等級IP 30IP 30IP 30IP 30IP 30
    標(biāo)準(zhǔn)
    CE 合規(guī)EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
    ETL 認(rèn)證UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
    電氣連接D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
    設(shè)定點(diǎn) (4)
    設(shè)定點(diǎn)數(shù)量2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
    繼電器觸點(diǎn)3030303030
    滯后percent FS11111
    暴露于真空的材料Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
    內(nèi)部容積
    1/2'' 管cm³ (in.³)3.6 (0.22)
    DN 16 ISO KFcm³ (in.³)3.6 (0.22)
    DN 16 CF-Rcm³ (in.³)3.6 (0.22)
    8 VCR®cm³ (in.³)3.6 (0.22)
    重量
    1/2'' 管g
    DN 16 ISO KFg
    DN 16 CF-Rg
    8 VCR®g


    (1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復(fù)，運(yùn)行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。
    (2) 增加 10 … 90 % FS
    (3) 非運(yùn)行
    (4) 僅適用于 CDG025D-S
    (5) 28% 鎳、23% 鈷、49% 鐵
    (6) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵