詳細(xì)信息
CMP拋光液
一．應(yīng)用領(lǐng)域
用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、液晶玻璃、鏡頭等拋光。
二．產(chǎn)品特點(diǎn)
1．采用嚴(yán)格的粒徑控制工藝，具有純度高、粒徑均勻、易清洗、無(wú)橘皮、無(wú)霧化現(xiàn)象、拋光速率高、損傷層小等優(yōu)點(diǎn)。
2．可直接稀釋使用，對(duì)拋光設(shè)備無(wú)腐蝕。
三．性能指標(biāo)
| 指標(biāo)名稱 | CMP80 |
| 粒徑（nm） | 60-90 |
| 外觀 | 外觀 |
| SiO2含量 | 30~40% |
| 分散介質(zhì) | 水 |
| pH值 | 2-11可調(diào) |
| 保質(zhì)期（月） | ≥12 |
四．使用方法
1．可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行稀釋。
2．稀釋后，粗拋時(shí)調(diào)節(jié)pＨ至11左右，精拋時(shí)調(diào)節(jié)pH至9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?br> 3．循環(huán)拋光可以用原液。
五．包裝及儲(chǔ)存
1．采用聚乙烯塑料桶包裝，主要包裝規(guī)格有25Kg、250Kg。
2．避免曝曬，貯存溫度為5-35℃，低于0℃則產(chǎn)生凍膠而失效。
3．避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸。