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激光修阻機(jī)應(yīng)用于壓力傳感器行業(yè)
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上,使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化,氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡(luò)組成。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能,可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò)、瓷基薄膜集成元件,還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度,V/F轉(zhuǎn)換器的頻率,有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運(yùn)算放大器的失調(diào)電壓等。同時(shí)還具有IEEE488接口,可與其他測試設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。
三工光電為任何行業(yè)領(lǐng)域設(shè)計(jì)激光設(shè)備,無論您有什么需求,在三工光電都可以找到一款適合您的機(jī)型。三工光電的工程師將為每一位客戶提供一整套獨(dú)一無二的解決方案,我們將從加工質(zhì)量、生產(chǎn)效率、生產(chǎn)成本、承受價(jià)位等方面作為參考因素,選配出最適合您需要的激光設(shè)備!
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2010年武漢三工光電發(fā)力解決了激光修阻機(jī)在研發(fā)當(dāng)中遇到的各種難題,研發(fā)出具有國際先進(jìn)水平的激光調(diào)阻設(shè)備,打破了國產(chǎn)精密電子行業(yè)依賴國外進(jìn)口激光調(diào)阻設(shè)備的難題。激光調(diào)阻就是利用激光在電阻上刻蝕線段來改變電阻的截面積,從而達(dá)到微調(diào)阻值的目的。
激光修阻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
--調(diào)阻精度高:先進(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束;四線制高速測量系統(tǒng),測量時(shí)間僅為25us;擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補(bǔ)償功能;
--調(diào)阻速度快:先進(jìn)的激光器擁有極高的重復(fù)頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進(jìn)口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重復(fù)機(jī)構(gòu),空氣軸承,移動(dòng)速度及加速度快;
--可靠性高:整機(jī)配置核心器件均采用原裝進(jìn)口配置;采用花崗巖臺(tái)座,穩(wěn)定可靠;
--功能強(qiáng)大:擁有溫度實(shí)時(shí)補(bǔ)償功能;同時(shí)具有激光劃片和打標(biāo)功能;
--運(yùn)行及維護(hù)成本低廉:采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能穩(wěn)定;電光轉(zhuǎn)換效率高,節(jié)約用電成本;采用風(fēng)冷系統(tǒng),無須外置冷卻設(shè)備;操作簡單,無須高額培訓(xùn)成本;
激光修阻機(jī)技術(shù)參數(shù):
--激光器系統(tǒng):
激光類型:半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長:1064/532/355nm
激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
激光頻率:200Hz-50KHz
典型光斑尺寸:30μm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長;可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12μm
泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時(shí)
冷卻方式:風(fēng)冷
對(duì)焦方式:計(jì)算機(jī)程序控制
--激光修阻機(jī)激光束定位系統(tǒng):
激光束運(yùn)動(dòng)范圍:75mmX75mm(可選配其他規(guī)格)
點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)間:5ms(典型)
最大速度:7000mm/s
重復(fù)定位精度:2.5μm
激光束最小步進(jìn):0.76μm
--圖像監(jiān)視系統(tǒng):
監(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)視
最大放大倍數(shù):>100倍
圖像監(jiān)視顯示屏:19寸液晶
--激光修阻機(jī)測量系統(tǒng):
激勵(lì)方式:電流/電壓激勵(lì)
恒流源:0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
恒壓源:0~20V計(jì)算機(jī)程控選擇(可選其它電壓范圍)
電阻測量方式:四線制加電流測電壓
直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓)
調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制:程序可設(shè)定
電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
電阻測量范圍:0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度:25μs
直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下)
探針板:44針11組四線制(可選其它規(guī)格)
探針板運(yùn)動(dòng):計(jì)算機(jī)程序控制
--計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng):
工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(雙核),17寸液晶
操作系統(tǒng):Windows XP
VB平臺(tái)開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件,界面友好,功能強(qiáng)大
--激光修阻機(jī)分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng):
運(yùn)動(dòng)XY范圍:290x260mm
運(yùn)動(dòng)分辨率:1μm
定位精度:小于6μm(帶誤差補(bǔ)償)
重復(fù)定位精度:小于3μm
最大運(yùn)動(dòng)速度:900mm/s
具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ堋?br/>--非接觸溫度測量:
溫度測量精度:0.2℃
調(diào)阻溫度修正:計(jì)算機(jī)程序控制
--激光修阻機(jī)其它技術(shù)指標(biāo):
供電電壓:220V AC
整機(jī)功耗:小于1000W
激光修阻機(jī)應(yīng)用和市場:主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業(yè)。
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